Машина для нанесения покрытия катодным распылением

оптическая

·Предварительная обработка плазмой и графитовой мишенью для эффективного улучшения адгезии тонкоплёночных слоёв; ·Две камеры для процесса распыления, что позволяет сократить время нанесения покрытия вдвое по сравнению с однокамерной системой и сократить продолжительность цикла; ·Несколько комплектов мишеней для распыления, обеспечивающих высокоэффективное осаждение различных материалов; ·Бесступенчатая регулировка расстояния между несколькими испарительными лодочками, точная настройка расстояния до источника распыления (ES) и точное управление объемом дозирования в шприцевом насосе для обеспечения антимасляных свойств продукта; ·Конструкция барабана для нанесения покрытия большого диаметра в сочетании с индивидуальным решением для подвески подложек значительно повышает производительность; ·Автоматическая загрузка и разгрузка подложек, интегрированная с клапаном дверцы и системой контроля безопасности рельсов, гарантирует безопасность эксплуатации.