·Комбинированная камера для испарения и распыления;
·Камера испарения: одностороннее испарение для нанесения покрытий из материалов, поддающихся низкотемпературному испарению (Al, Li и др.);
·Камера распыления: 6 пар вращающихся мишеней, заменяемых на плоские мишени;
·Камера последующей обработки: предназначена для нагрева, охлаждения, газовой обработки, плазменной обработки и т. д.
---