·Расширяемые камеры нанесения покрытий для многопроцессного и высокоскоростного осаждения;
·Плазменная обработка поверхности для эффективного повышения адгезии тонкопленочных слоев;
·Многокамерная камера для процесса распыления, повышающая эффективность производства;
·Наличие нескольких комплектов изолированных камер для распыления позволяет наносить различные материалы;
·Настраиваемая ширина нанесения покрытия: 300–1650 мм;
·Встроенный онлайн-контроль качества с оптической проверкой и онлайн-измерением удельного сопротивления;
·Полностью автоматическая система управления процессом «рулон-рулон» и система выравнивания.
---