·Конструкция конвейера с двумя источниками для быстрого переключения.
·Точное управление нанесением тонких пленок на атомном уровне.
·Модульная конструкция панели распределения воздуха, удобство технического обслуживания.
* Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.