·Однокамерная конструкция с компактными габаритами и коротким временем обработки.
·Подходит для нанесения многослойных композитных пленок с использованием различных прекурсоров и материалов, с широкими возможностями масштабирования технологического процесса.
·Точное регулирование толщины и однородности пленки обеспечивает плотную структуру пленки с высокой степенью повторяемости контуров, низкой плотностью дефектов и превосходными характеристиками.
---