Многоосная система позиционирования

автоматическаядля полупроводниковой промышленностивысокоточная

Полупроводниковые решения Независимо от сложности требований, мы сможем предложить вам правильное решение, спроектированное с учетом специфики ваших задач. Наши специалисты, сотрудничающие с крупнейшими производителями рынка полупроводников уже более 25 лет, выполнят самые специфичные требования при сжатых сроках разработки и при любых объемах производства. Стабильность размеров, измеряемая нанометрами, и время отработки, измеряемое миллисекундами, — это наша стихия. Мы отлично понимаем замыслы заказчика и реализуем их во внедряемых системах управления перемещением. Стандартные технические характеристики устройств типа «Полупроводники» в точке POI* Конфигурация: XYTZ и + Z Длина хода: до 600 x 750 мм (пластина 450 мм) Точность: ≤ 1 мкм (TIR, с отображением) Повторяемость: ≤ 0,1 мкм Стабильность: ≤ 2 нм (в пределах 1 с по протоколу ptp) Время перемещения и успокоения: < 100 мс на 25 мм Стабильность скорости: < 0,01 % при скорости < 100 мм/с Прямолинейность: < 5 мкм на TIR Плоскостность: < 5 мкм на TIR