Основными учитываемыми параметрами при разработке вакуумных систем являются экстремальное ультрафиолетовое излучение (EUV), дегазация, время откачки, стабильность и величина магнитных возмущений. Эти характеристики учитываются наряду с остальными ключевыми параметрами систем перемещения, которые необходимо обеспечить в сложных условиях производственной среды и высоких эксплуатационных требований.
Наши системы спроектированы для работы при парциальных давлениях до 10^9 мбар за счет применения особых компонентов, от линейных двигателей (в том числе экранированных) до пьезоприводов и специальных кабелей.
Все необходимые детали машинной обработки (из алюминия или нержавеющей стали) изготовлены нами на собственном производстве, чтобы наилучшим образом контролировать их чистоту и дегазацию.
Все вакуумные системы, предназначенные для поддержания вашего производственного ритма, собраны, испытаны и упакованы в чистых комнатах.
Стандартные технические характеристики устройств типа «Вакуумные системы» в точке POI*
Конфигурация: XYZT или + Z (наклон?)
Длина хода: до 400 x 500 мм
Точность: ≤ 10 мкм (TIR, с отображением)
Повторяемость: ≤ 0,1 мкм
Стабильность: ≤ 2 нм (в пределах 1 с по протоколу ptp)
Время перемещения и успокоения: < 120 мс на 25 мм
Стабильность скорости: < 0,01 % при скорости < 100 мм/с
Прямолинейность: < 5 мкм на 300 мм
Плоскостность: < 5 мкм на 300 мм