Система позиционирования XYZ

линейнаявакуумная

Основными учитываемыми параметрами при разработке вакуумных систем являются экстремальное ультрафиолетовое излучение (EUV), дегазация, время откачки, стабильность и величина магнитных возмущений. Эти характеристики учитываются наряду с остальными ключевыми параметрами систем перемещения, которые необходимо обеспечить в сложных условиях производственной среды и высоких эксплуатационных требований. Наши системы спроектированы для работы при парциальных давлениях до 10^9 мбар за счет применения особых компонентов, от линейных двигателей (в том числе экранированных) до пьезоприводов и специальных кабелей. Все необходимые детали машинной обработки (из алюминия или нержавеющей стали) изготовлены нами на собственном производстве, чтобы наилучшим образом контролировать их чистоту и дегазацию. Все вакуумные системы, предназначенные для поддержания вашего производственного ритма, собраны, испытаны и упакованы в чистых комнатах. Стандартные технические характеристики устройств типа «Вакуумные системы» в точке POI* Конфигурация: XYZT или + Z (наклон?) Длина хода: до 400 x 500 мм Точность: ≤ 10 мкм (TIR, с отображением) Повторяемость: ≤ 0,1 мкм Стабильность: ≤ 2 нм (в пределах 1 с по протоколу ptp) Время перемещения и успокоения: < 120 мс на 25 мм Стабильность скорости: < 0,01 % при скорости < 100 мм/с Прямолинейность: < 5 мкм на 300 мм Плоскостность: < 5 мкм на 300 мм