3-осная система позиционирования

портальнаядля контроля полупроводниковых пластин и метрологиивысокоточная

Индивидуальные решения для плоскопанельных дисплеев Наши решения в требовательной области FPD относятся ко всем процессам, от автоматического оптического контроля (AOI) до матричной обработки результатов измерений, полученных с помощью фотоспейсера. По всему миру мы установили более 800 систем. Некоторые из них произведены и собраны непосредственно в Азии. Для снижения полной стоимости владения компания SCHNEEBERGER разработала материал, заменяющий гранит: минеральное литье. Литая амортизирующая конструкция позволяет, например, снизить общий вес системы, благодаря чему снижаются затраты на погрузку и транспортировку. Узнайте больше о минеральном литье... Стандартные технические характеристики для «крупноформатных систем» в точке POI* Конфигурация: XYZ или + Z (подвижный портал) Длина хода: до 3500 x 2700 мм Точность: ≤ 10 мкм (TIR, с отображением) Повторяемость: ≤ 2 мкм Стабильность: ≤ 10 нм (в пределах 1 с по протоколу ptp) Время перемещения и успокоения: < 500 мс на 300 мм Скорость Cst: < 0,01 % при скорости < 100 мм/с Прямолинейность: < 20 мкм на 3000 мм Плоскостность: < 20 мкм на 3000 мм