- Производственные машины
- Другие промышленные станки
- Машина для нанесения покрытий ALD
- S.C New Energy Technology Corporation
- Продукция
- Каталоги
Машина для нанесения покрытий ALD PD-520 seriesтонких слоев
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению
Характеристики
- Метод
- ALD
- Вид поступления
- тонких слоев
Описание
Тонкопленочное осаждение AlO+SiN.
- Процесс атомно-слоевого осаждения, обеспечивающий лучшую однородность пленки.
- Многослойная тонкая пленка осаждается на одном и том же технологическом оборудовании или в одной и той же печной трубе, что позволяет сократить количество этапов процесса и количество поломок подложек, а также эффективно повысить выход продукции.
- Независимые исследования и разработки в области доставки паров прекурсора из жидкого источника и технологии быстрого переключения прекурсора.
- Подходит для осаждения пассивирующего слоя для различных прекурсоров и материалов, с большим пространством для расширения процесса.
---
Другие изделия S.C New Energy Technology Corporation
Horizontal Furnaces Series
* Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.