Машина для нанесения покрытий PECVD PD-520

на солнечной батарее

В основном используется для создания высококачественных антибликовых покрытий при производстве кристаллических кремниевых солнечных элементов, а также для осаждения пассивирующей пленки на задней стороне солнечных элементов. Графитовая лодка и пластины готовы→ Впуск азота→ Загрузка графитовой лодки→ Вакуумирование, испытание давлением → Предварительная очистка и проверка аммиака→ Вакуумирование трубки, проверка герметичности, постоянная температура→ Нанесение предварительного покрытия → Нанесение покрытия→ Вакуумирование, испытание давлением→ Очистка трубки и впуск азота→ Выгрузка графитовой лодки. - Совместим с процессом SiOxNy PERC. - Технология двойного уплотнения фланцев охлаждающей воды. - Запатентованная технология внутреннего нагрева. - Высокоскоростной встроенный механизм толкания лодки модуля. - Бесконтактная графитовая лодочка с кварцевой трубкой. - Программное обеспечение MES с независимым правом интеллектуальной собственности. - Независимо разработанная система ССС - Технология быстрого нанесения покрытий. - Сигнальная защита при перегреве, поломке термопары и столкновении с лодкой.