Диффузия и легирование фосфора при низком давлении.
- Технические решения для высокого сопротивления листа.
- Уникальная двухслойная вложенная структура дверцы печи, избавляющая от проблемы метафосфорной кислоты в устье печи.
- Уникальная настройка температурной зоны, гарантирующая равномерность сопротивления листа в устье и конце печи.
- Высокоскоростной и стабильный встроенный механизм толкания модульной лодки.
- Интеллектуальное автоматическое управление.
- Программное обеспечение MES с независимыми правами на интеллектуальную собственность.
- Соответствующая интеллектуальная система управления производством S.C.
---