Метрологическая система для полупроводниковой пластины Proforma 300i

для полупроводников

Экономически эффективная альтернатива полностью автоматизированным системам измерения и контроля вафель Продукт может обеспечить измерение толщины и носовой части всех материалов пластин, включая кремний, арсенид галлия, фосфид индия и сапфир или ленту Особенности Передний порт USB позволяет легко сохранять результаты измерений и другие данные на флэш-накопители Собственная схема измерения емкости от MTI Instruments для исключительной точности и надежности Бесконтактные измерения диапазон диаметров пластин 76-300 мм Дополнительные кольца для измерения вафель Упоры для вафель для точного центрирования Интерфейс Ethernet Полное программное обеспечение для дистанционного управления (совместимое с Windows) Дополнительные калибровочные пластины О ручной системе метрологии полупроводников Толщиномер пластин Proforma 300i - это дифференциальная измерительная система на основе емкостного сопротивления, которая выполняет бесконтактные измерения толщины полупроводниковых и полуизолирующих пластин. Благодаря использованию технологии MTI Push/Pull, Proforma 300i не требует постоянного электрического заземления пластин, что обеспечивает исключительную точность и повторяемость измерений для большинства типов пластин. Система Proforma 300i включает в себя программное обеспечение для дистанционного управления и сетевой интерфейс Ethernet. *Арсенид-галлий требует перенастройки датчика для полуизолирующих материалов с объемным сопротивлением более 10 К Ом.