Полуавтоматическая измерительная станция SPS-HS series

Высокоскоростные полуавтоматические системы - Моторизованный XY патрон, моторизованная плита в SPS-2600, моторизованное Z движение патрона в SPS 2800 в стандартной конфигурации. Моторизованный тета - опция. - На базе серводвигателя, линейные энкодеры. - Очень конкурентоспособное по цене, очень быстрое, высокопроизводительное решение - Настоятельно рекомендуется для среднесерийного производства или других применений, где важна пропускная способность Технические характеристики - Размер пластин До 300 мм - Тип двигателя Серводвигатель - XY перемещение этапа До 300ммx300мм - Разрешение XY этапа, повторяемость Моторизованный, разрешение 0,15 мкм, повторяемость +/-1,2 мкм - Скорость/ускорение XY (макс.) До 1000 мм/с, до 35 мм/с2 - Скорость Z 20 мм/с - Перемещение планшайбы 12.7 мм или 25 мм - Регулировка пластины Двойная грубая и точная регулировка с повторяемостью более 2,5 мкм - Плоскостность планшайбы <12,7 мкм на протяжении 200 мм - Жесткость пластины <50 мкм для 4,5 кг - Вакуумный патрон Многозонный вакуум - Плоскостность патрона +/-13μm - Напряжение пробоя патрона Не менее 500 В - Изоляция патрона Не менее 1GΩ - Регулировка патрона 360° грубая, +/-6° точная - Микроскоп Высококачественный стерео зум с рабочим расстоянием до 200 мм и увеличением от 3.5X до 180X - Проходные клеммы BNC, Triax или банановый штекер - Размеры системы 101 см в ширину x91 см в глубину x 88 см в высоту