Полуавтоматическая измерительная станция SPS series

Стандартные полуавтоматические системы - Моторизованный XY патрон, моторизованная плита в SPS-2600, моторизованное Z движение патрона в SPS 2800 в стандартной конфигурации. Моторизованный тета - опция. - На базе шагового двигателя, без энкодеров. - Очень конкурентоспособная стоимость - Настоятельно рекомендуется в тех случаях, когда требуется проведение испытаний при температуре ниже 0°C или экранирование - Доступные опции: патроны с подогревом или охлаждением, зум-скопы или составные микроскопы, различные экранировки, выбор патронов для измерений постоянного и радиочастотного тока и многое другое Технические характеристики - Размер пластины До 200 мм - Тип двигателя Шаговый двигатель - XY перемещение этапа До 200ммx200мм - Разрешение XY этапа моторизованный, повторяемость 6,5 мкм - Скорость XY (макс.) 9.5 мм/с - Скорость Z (макс.) 5 мм/с - Перемещение планшайбы 12.7 мм или более - Регулировка пластины Двойная грубая и точная регулировка с повторяемостью более 2,5 мкм - Плоскостность пластины <12,7 мкм на протяжении 200 мм - Жесткость пластины <50 мкм для 4,5 кг - Вакуумный патрон Многозонный вакуум - Плоскостность патрона +/-13μm - Напряжение пробоя патрона Не менее 500 В - Изоляция патрона Не менее 1GΩ - Регулировка патрона 360° грубая, +/-6° точная - Микроскоп Высококачественный стерео зум с рабочим расстоянием до 200 мм и увеличением от 3.5X до 180X - Проходные клеммы BNC, Triax или банановый штекер - Размеры системы 122 см в ширину x122 см в глубину x 92 см в высоту