Высокоточные полуавтоматические системы
- Моторизованный XY патрон, моторизованное Z перемещение патрона в стандартной конфигурации. Моторизованное тета-перемещение - опция.
- На базе шагового двигателя, линейные энкодеры.
- Конкурентоспособная стоимость для спецификаций позиционирования.
- Идеально подходит для малосерийных производственных испытаний и хронометража.
Технические характеристики
- Размер пластины
До 300 мм
- Тип двигателя
Шаговый двигатель
- XY перемещение этапа
До 300ммx300мм
- Разрешение XY этапа, повторяемость
Моторизованный, разрешение 0,15 мкм, повторяемость +/-1,2 мкм
- Скорость XY (макс.)
50 мм/с
- Скорость Z (макс.)
10 мм/с
- Перемещение планшайбы
12.7 мм или 25 мм
- Регулировка пластины
Двойная грубая и точная регулировка с повторяемостью более 1 мкм
- Плоскостность планшайбы
<12,7 мкм на протяжении 200 мм
- Жесткость пластины
<50 мкм для 4,5 кг
- Вакуумный патрон
Многозонный вакуум
- Плоскостность патрона
+/-13μm
- Напряжение пробоя патрона
Не менее 500 В
- Изоляция патрона
Не менее 1GΩ
- Регулировка патрона
360° грубая, +/-6° точная
- Микроскоп
Высококачественный стерео зум с рабочим расстоянием до 200 мм и увеличением от 3.5X до 180X
- Проходные клеммы
BNC, Triax или банановый штекер
- Размеры системы
101 см в ширину x91 см в глубину x 88 см в высоту
---