Картографы удельного сопротивления пластин серии A4P используют проверенные промышленные стандарты для обеспечения быстрых, точных и надежных измерений распределения удельного сопротивления образцов. Четырехточечные зонды MicroXact измеряют среднее сопротивление полупроводниковых пластин слоев путем пропускания тока через внешние точки четырехточечного зонда и измерения напряжения на внутренних точках. Значение удельного сопротивления, свойства материала, придающего ему электрическое сопротивление, может быть найдено путем умножения сопротивления листа на толщину пленки.
Предлагаемый в виде системы 100 мм, 150 мм, 200 мм или 300 мм, четырехточечный зонд A4P не требует обслуживания и очень прост в использовании. Для этой системы доступны различные опции, включая тепловые испытания в широком диапазоне, заказные патроны для нестандартных материалов и 4-точечные датчики, адаптированные практически для любого применения.
Программное обеспечение для автоматизации измерения удельного сопротивления
Программное обеспечение для автоматизации A4P-200-PLUS позволяет проводить полуавтоматизированные или полностью автоматизированные испытания с помощью системы картирования удельного сопротивления. Интерфейс разработан простым, но мощным, что позволяет пользователям легко настроить автоматизированную процедуру тестирования практически для любого типа структуры пластин. Программное обеспечение на базе LabView логически структурировано и позволяет легко интегрировать собственное испытательное и измерительное оборудование заказчика. Программное обеспечение может быть установлено на любом ПК с операционной системой Windows XP или выше.
---