ДатчикиconfocalDT IFS2407 предназначены для высокоточного измерения расстояния, шероховатости и толщины.
Конфокальные хроматические датчики с высокой числовой апертурой, малым диаметром светового пятна и допуском на большие углы измерения позволяют измерять шероховатость.
Датчики обеспечивают нанометровую точность и доступны в нескольких вариантах для различных диапазонов измерений и применений.
Основные характеристики
Высокие значения числовой апертуры (NA), включая светосильные варианты (NA > 0,7)
Очень малые размеры пятна измерения (до ~3 мкм и 5,5 мкм в зависимости от модели)
Большие допустимые углы измерения для измерений на изогнутых или структурированных поверхностях
Разрешение нанометрового класса и высокая линейность
Варианты, пригодные для работы в вакууме и при высоких температурах
Надежное измерение при температуре окружающей среды до 200 °C
Диапазоны измерения (мм): 0.8 | 2 | 4
Диапазон температур: макс. 200 °C
Линейность: макс. < ±0,18 мкм
Разрешение: макс. < 6 нм
Корпус из нержавеющей стали (1.4404)
Возможность работы в вакууме до UHV
Выпускается в вариантах 90°
confocalDT IFS2407-0,1
Диапазон измерений (мм): 0.1
Линейность: макс. 0.05 мкм
Разрешение: макс. 3 нм
Идеально подходит для измерения расстояния и шероховатости
Возможен вариант светочувствительного датчика для высокоскоростных процессов (NA 0,7)
Малый размер пятна измерения: 3 мкм
Высокая чувствительность и большой угол измерения
Измерение толщины прозрачных объектов от 5 мкм
confocalDT IFS2407-0,8
Диапазон измерений (мм): 0.8
Линейность: макс. 0.2 мкм
Разрешение: макс. 24 нм
Малое световое пятно
Экономящая место конструкция датчика
Точные измерения расстояния даже на изогнутых поверхностях
Идеально подходит для измерения толщины тонких слоев
confocalDT IFS2407-1,5
Диапазон измерений (мм): 1.5
Сверхмалое пятно измерения 5,5 мкм
Угол измерения > ±43°
Светосильная модель (NA > 0,7)
Высокоточные измерения на криволинейных и зеркальных поверхностях
Стабильные измерения на структурированных поверхностях
confocalDT IFS2407-3
Диапазон измерений (мм): 3
Линейность: макс. 0.5 мкм
Разрешение: макс. 13 нм
Большое расстояние смещения ок. 28 мм
Макс. угол измерения ±30°
Идеально подходит для измерений на изогнутых и отражающих поверхностях
confocalDT IFS2407-6
Диапазон измерений (мм): 6
Линейность: макс. 1 мкм
Разрешение: макс. 15 нм
Большое расстояние смещения ок. 32 мм
Идеально подходит для быстрых высокоточных измерений на сложных поверхностях
Высокая интенсивность света даже на темных / плохо отражающих поверхностях
confocalDT IFS2407/90-0.3 (траектория луча 90°)
Диапазон измерений (мм): 0.3
Линейность: макс. 0.15 мкм
Разрешение: макс. 6 нм
Идеально подходит для измерений смещения и шероховатости
Малое пятно измерения 6 мкм
Высокая чувствительность и большой угол измерения
90° траектория луча, идеально подходит для установки в ограниченном монтажном пространстве
Caractéristiques / spécifications techniques
Серия / модель: IFS2407
Доступные диапазоны измерений: 0.1 мм, 0,3 мм, 0,8 мм, 1,5 мм, 3 мм, 6 мм (и варианты HT с 0,8 | 2 | 4 мм)
Линейность (в зависимости от модели): до 0,05 мкм; примеры: 0.05 мкм (0,1 мм), 0,15 мкм (0,3 мм), 0,2 мкм (0,8 мм), 0,5 мкм (3 мм), 1 мкм (6 мм)
Разрешение (в зависимости от модели): до 3 нм; примеры: 3 нм (0,1 мм), 6 нм (0,3 мм), 13 нм (3 мм), 15 нм (6 мм), 24 нм (0,8 мм)
Размеры пятна измерения: от примерно 3 мкм до ~6 мкм или 5,5 мкм (зависит от модели)
Углы измерения: до > ±43° для некоторых моделей; отмечены типичные максимальные углы (напр.например, ±30° для модели 3 мм)
Офсетные расстояния (примеры): около 28 мм (3 мм), около 32 мм (6 мм)
Высокая числовая апертура / доступны светосильные варианты (NA до > 0.7)
Высокотемпературный вариант (IFS2407-xHT): измерение при температуре окружающей среды до 200 °C; корпус из нержавеющей стали 1.4404; возможность работы в вакууме до UHV
Возможность измерения толщины: прозрачные объекты от 5 мкм (вариант 0,1 мм)
Типичные применения: измерение расстояния, шероховатости и толщины на изогнутых, структурированных, отражающих или плохо отражающих поверхностях
* Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.