Конфокальный датчик с хроматическим кодированием confocalDT IFS2407-xHT/VAC

для измерения толщиныдля измерения расстоянийбесконтактный

Обзор
Серия confocalDT IFS2407 представляет собой конфокальные хроматические датчики для высокотемпературных задач, предназначенные для бесконтактных измерений в сложных условиях. Версии HT/VAC обеспечивают надежные измерения при температурах до 200 °C, сочетают компактную оптику с низким уровнем десорбции и поэтому совместимы с UHV. Доступны разные диапазоны измерения и варианты со 90° оптическим путем для установки в ограниченном пространстве.

Ключевые характеристики

• Надежная работа при температурах окружающей среды до 200 °C
• Низкое выделение газа: подходит для UHV и чистых помещений
• Компактная конфокальная хроматическая конструкция для ограниченного монтажного пространства
• Доступны несколько диапазонов измерений и варианты со 90° траекторией луча
• Корпус из нержавеющей стали (материал 1.4404)

Модели и основные характеристики

• confocalDT IFS2407-0,8HT/VAC
  • Диапазон измерения (мм): 0,8
  • Линейность: макс. < ±0,18 µm
  • Разрешающая способность: макс. < 6 nm
  • Низкое выделение газа: подходит для UHV и чистых помещений
  • Надежные измерения при температурах до 200 °C
  • Корпус: нержавеющая сталь 1.4404
• confocalDT IFS2407-2HT/VAC
  • Диапазон измерения (мм): 2
  • Линейность: макс. < ±0,44 µm
  • Разрешающая способность: макс. < 10 nm
  • Низкое выделение газа: подходит для UHV и чистых помещений
  • Надежные измерения при температурах до 200 °C
  • Корпус: нержавеющая сталь 1.4404
  • Доступны модели со 90° траекторией луча
• confocalDT IFS2407-4HT/VAC
  • Диапазон измерения (мм): 4
  • Линейность: макс. < ±0,8 µm
  • Разрешающая способность: макс. < 24 nm
  • Низкое выделение газа: подходит для UHV и чистых помещений
  • Надежные измерения при температурах до 200 °C
  • Корпус: нержавеющая сталь 1.4404
  • Доступны модели со 90° траекторией луча

Применение

• Прецизионное машиностроение
• Полупроводниковая промышленность
• Работа в UHV и чистых помещениях, измерения при повышенных температурах

Характеристики / технические спецификации

• Серия / семейство моделей: confocalDT IFS2407
• Доступные диапазоны измерений: 0,8 мм, 2 мм, 4 мм
• Максимальная линейность (в зависимости от модели): < ±0,18 µm (0,8 мм) — < ±0,44 µm (2 мм) — < ±0,8 µm (4 мм)
• Максимальная разрешающая способность (в зависимости от модели): < 6 nm (0,8 мм) — < 10 nm (2 мм) — < 24 nm (4 мм)
• Температура эксплуатации: до 200 °C
• Совместимость с вакуумом / низкое выделение газа: подходит для UHV
• Материал корпуса: нержавеющая сталь 1.4404
• Варианты: прямые и с 90° траекторией луча