ОбзорЕмкостная система TFG6220 измеряет толщину электропроводящих пленок (например, батарейных) с высокой точностью. Вакуумное устройство удерживает и выравнивает образец, обеспечивая поверхность‑эталон без складок. Блок поставляется в виде предварительно собранной единицы и предназначен для офлайн‑выборочного контроля качества.
Основные функции- Вакуумное выравнивание пленки для удаления складок и обеспечения повторяемого расположения
- Измерительная скоба с двумя емкостными датчиками и встроенной измерительной вставкой для простой эталонизации
- Сбор данных и визуализация через sensorTOOL (веб‑интерфейс)
ПрименениеБыстрая офлайн‑проверка толщины проводящих пленок для контроля качества и мониторинга процесса, например батарейных пленок.
Технические характеристики- Разрешение: 10 nm
- Повторяемость: 1 µm
- Измеряемая толщина пленки: < 1 mm
- Принцип измерения: компенсация показаний двух емкостных датчиков
- Подготовка образца: внешнее вакуумное устройство для выравнивания и фиксации
- Конфигурация: предварительная сборка, готово к эксплуатации
- Программное обеспечение: sensorTOOL для визуализации и настроек