Программное обеспечение для разработки Calibre® MPCpro
развитиядля управления процессомдля определения размеров

программное обеспечение для разработки
программное обеспечение для разработки
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению
 

Характеристики

Функция
для разработки, развития, для управления процессом, для определения размеров
Место применения
процесса, для оптики

Описание

Корректировка процесса маски Корректировка загрузки процесса и эффектов близости расположения Calibre® MPCpro - это специализированное решение для создания масок. Маска делает процесс подвергается систематическим ошибкам, вызванным литографией луча, и процессы травления. Благодаря переменному размеру шаблона Calibre MPCpro устраняет такие эффекты процесса, как затуманивание, развитие и травление, а также эффект близости луча. Опираясь на опыт хорошо зарекомендовавшей себя системы Calibre Инструмент OPCpro для оптической коррекции процессов, MPCpro предназначен для решения конкретных задач потребности производства масок. Усадочные размеры элементов конструкции и сложность конструкции нанометров делают привод более плотным и более строгие спецификации для контроля критических размеров - среднее значение для достижения цели а также распределение по маске. Как и прежде, в области литографии пластин оборудование и возможности управления технологическим процессом не могут быть реализованы в одиночку достичь требуемой точности, поэтому технологи ищут данные зависимые корректировки, которые компенсируют эффекты процесса до требуемого уровня допуски. MPCpro входит в комплект инструментов для подготовки данных калибровочной маски и является полным набором инструментов интегрированный с калибровочным дизайном на кремниевую платформу. Она включает в себя плотность основанная на функциях коррекции дальнего радиуса действия для определения размеров области, измерения плотности и свертывание ядра и модуль коррекции на основе правил - OPCbias. MPCpro обеспечивает высокую степень масштабируемости обработки при сохранении высочайшего качества данных необходимые для изготовления маски с низкими допусками.

---

Каталоги

* Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.