Мини-камера PVD, на 100% предназначенная для перовскитов
- Может быть интегрирована в существующие перчаточные боксы MBRAUN (через предкамеру)
- Компактный дизайн
- Для подложек размером до 50x50 мм
- До 4 источников
- Однородность слоя < +/-5 %
- Экономичное решение
- Короткое время поставки
- Простая модернизация в существующих перчаточных боксах
---