- Интегрированная система перчаточных ящиков
- Компактное и экономически эффективное решение
- Простой дизайн конфигурации
- Совместное осаждение
- Равномерность до +/-3 % (при специальном проектировании геометрии до +/1 %)
- Два стандартных размера: PROvap 4G и PROvap 5G
- Возможность использования до 8 источников осаждения
- Размер подложки до 100x100 мм или диам. 100 мм (4") для PROvap 4G
- Размер подложки до 150x150 мм или диам. 150 мм (6") для PROvap 5G
- OLEDs/органическая электроника
- OPVs
- Батареи
---