- Гибкая модульная система
- Автономная (S) или интегрированная в перчаточный ящик (G)
- Строительный блок для кластерного инструмента
- Многоподложечные и многомасочные процессы
- Стандартная однородность: +/- 3 % (при специальном проектировании геометрии до +/1 %)
- Размер подложки до 150x150 мм или диам. 150 мм (6") для OPTIvap 4
- Размер подложки до 200x200 мм или диам. 280 мм (8") для OPTIvap 6
- Сложные многослойные устройства (OLED, OPV)
- Оптические слои
- Полупроводник, фотоэлектрический элемент
- OLEDs/органическая электроника
- OPVs
- Батареи
---