- Продукция
- Каталоги
Машина для нанесения покрытий катодным распылением OPTIvapтермическим испарениемс помощью пучка ионовтонких слоев
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению
Характеристики
- Технология
- катодным распылением, термическим испарением, с помощью пучка ионов
- Вид поступления
- тонких слоев
- Другие характеристики
- вакуумная
- Место применения
- для микроэлектронной промышленности, для фотогальванического оборудования
Описание
- Гибкая модульная система
- Автономная (S) или интегрированная в перчаточный ящик (G)
- Строительный блок для кластерного инструмента
- Многоподложечные и многомасочные процессы
- Стандартная однородность: +/- 3 % (при специальном проектировании геометрии до +/1 %)
- Размер подложки до 150x150 мм или диам. 150 мм (6") для OPTIvap 4
- Размер подложки до 200x200 мм или диам. 280 мм (8") для OPTIvap 6
- Сложные многослойные устройства (OLED, OPV)
- Оптические слои
- Полупроводник, фотоэлектрический элемент
- OLEDs/органическая электроника
- OPVs
- Батареи
---
Расширенный поиск
- Машина для нанесения покрытия
- Вакуумная машина для нанесения покрытий
- Машина для нанесения покрытий PVD
- Машина для нанесения покрытий тонких слоев
- Машина для нанесения покрытий термическим испарением
- Машина для нанесения покрытий для микроэлектронной промышленности
- Машина для нанесения покрытий с помощью пучка ионов
- Машина для нанесения покрытий для фотогальванического оборудования
- Машина для нанесения покрытия с щелевой экструзионной головкой
- Высокоточная машина для нанесения покрытия
* Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.