- Автономная система
- Компактное и экономически эффективное решение
- Простой дизайн конфигурации
- Возможно совместное осаждение
- Равномерность до +/-3 % (при специальном проектировании геометрии до +/1 %)
- Два стандартных размера: UNIvap 4S и UNIvap 5S
- Возможность использования до 8 источников осаждения
- Размер подложки до 100x100 мм или диам. 100 мм (4") для UNIvap 4S
- Размер подложки до 150x150 мм или диам. 150 мм (6") для UNIvap 5S
- OLEDs/органическая электроника
- OPVs
---