Измерительная система для кромки полупроводниковой пластины WATOM 150/200mm

с камеройавтоматизированнаяпрофилометр

Автоматизированный профилировщик краев пластин WATOM 150/200 мм Измерение кромок пластин - надежная проекционная технология WATOM CCD использует технологию проекции профиля в качестве альтернативы технологии LS и представляет собой идеальное решение для менее сложных требований к измерению профиля, в частности, когда не требуется измерение надрезов. КМОП-камера захватывает изображение профиля края пластины, освещенного телецентрическим источником света. Модульная конструкция WATOM позволяет комбинировать ее с различными решениями по автоматизации современных процессов производства полупроводников, независимо от того, загружаются ли отдельные пластины вручную или используется автоматизированная система обработки материалов (AMHS).