Измерительная система для кромки полупроводниковой пластины WATOM 200/300mm

оптическаяс лазеромавтоматизированная

Автоматизированный профилировщик краев пластин WATOM 200/300 мм Измерение кромки пластины - точное измерение Использование все более мелких деталей в полупроводниковой промышленности требует все более совершенных материалов исключительно высокого качества. В ответ на постоянное улучшение качества пластин компания KoCoS Optical Measurement разработала WATOM, инструмент для измерения края пластины и профиля выемки, который предвещает новую эру чрезвычайно точного измерения геометрии пластин. Запатентованный метод измерения WATOM LS использует датчик обнаружения света для измерения профиля края пластины с точной точностью, включая профиль внутри выемки. С помощью CMOS-камеры делаются снимки лазерной линии, создаваемой профилем края. Затем математический алгоритм, разработанный компанией KoCoS, используется для определения характеристик профиля края. Модульная конструкция WATOM позволяет комбинировать ее с различными решениями по автоматизации современных процессов производства полупроводников, независимо от того, загружаются ли отдельные пластины вручную или используется автоматизированная система обработки материалов (AMHS).