Спектроскопический эллипсометр VASE series

VASE® - это точный и универсальный эллипсометр для исследования всех типов материалов: полупроводников, диэлектриков, полимеров, металлов, многослойных материалов и др. Он сочетает в себе высокую точность и прецизионность с широким спектральным диапазоном - от 193 до 3200 нм. Переменная длина волны и угол падения позволяют проводить гибкие измерения, включая: - Эллипсометрия отражения и пропускания - обобщенная эллипсометрия (анизотропия, ретардантность, двулучепреломление) - Интенсивность отражения (R) и пропускания (T) - Кросс-поляризованный R/T - Деполяризация - Скаттерометрия - Матрица Мюллера Максимальная точность данных VASE оснащен эллипсометром с вращающимся анализатором (RAE) в сочетании с нашим запатентованным AutoRetarder® для непревзойденной точности данных. Высокоточный выбор длины волны Сканирующий монохроматор разработан специально для спектроскопической эллипсометрии. Он оптимизирует скорость, точность выбора длины волны и пропускную способность, при этом автоматически контролируя выбор длины волны и спектральное разрешение. Гибкие измерения VASE оснащен вертикальным креплением образца, позволяющим проводить измерения в самых разных геометриях, включая отражение, пропускание и рассеяние. Технология AutoRetarder® Эллипсометры с вращающимся анализатором (RAE) максимизируют точность данных вблизи условия "Брюстера" - когда данные Ψ/Δ богаты содержанием. Однако эта область может быть ограничена для образцов с пониженным сигналом. Запатентованный авторетардер представляет собой управляемую компьютером волновую пластину, которая изменяет поляризацию светового луча до того, как он достигнет образца. Это обеспечивает оптимальные условия измерения для любого образца - при любых условиях. AutoRetarder точно измеряет: - Ψ и Δ во всем диапазоне!