Детектор светорассеяния для одним датчиком Vertex

плазмыдля распределения энергии ионизации

Вершина одиночного датчика измеряет распределение энергии ионов в зависимости от соотношения сторон, попадающих на поверхность внутри плазменного реактора. Этот уникальный прибор для определения характеристик плазмы может также измерять энергию ионов, поток ионов и напряжение смещения. Угол падения ионов на дно элемента конструкции можно определить по распределению энергии ионов в зависимости от соотношения сторон, что позволяет пользователям контролировать качество профиля травления в данном месте в плазменном реакторе. Вершина одиночного датчика измеряет распределение энергии ионов в зависимости от соотношения сторон, энергии ионов, потока ионов, отрицательных ионов и Vdc на поверхности внутри плазмы. Датчик Vertex Single Sensor находит все более широкое применение во многих областях промышленности и научных исследований, таких как плазменное травление, ионные лучи и плазменное напыление для определения характеристик плазмы и анализа взаимодействия плазмы. Датчик Vertex Single Sensor экономит ценное время пользователя при подтверждении моделей, разработке новых процессов и проведении экспериментов с использованием плазменных, плазменных инструментов и исследований плазмы. Датчик Vertex Single Sensor расположен в 19-дюймовом блоке электроники, монтируемом в стойку, с вакуумным проходом и держателем датчика, расположенным в любом месте плазменной или лучевой камеры. Местонахождение может быть даже электродом, работающим от радиочастотного или постоянного тока, и может быть оснащено сменным кнопочным зондовым датчиком. Блок электроники подключается к ноутбуку или ПК и использует интеллектуальный программный комплекс Vertex. Датчик Vertex Single Sensor имеет несколько вариантов держателей в диапазоне от 50 мм до 450 мм и зависит от области применения пользователем. Пользователи могут выбрать датчик диаметром 50 мм и физически переместить его для измерения в различных местах камеры.