Анализатор с несколькими датчиками Semion
для плазменного реакторазадерживающего потенциалав режиме реального времени

анализатор с несколькими датчиками
анализатор с несколькими датчиками
анализатор с несколькими датчиками
анализатор с несколькими датчиками
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению
 

Характеристики

Область применения
для плазменного реактора
Измеряемая величина
задерживающего потенциала
Другие характеристики
в режиме реального времени, ионный, с несколькими датчиками

Описание

Анализатор энергии замедленного поля Semion Multi Sensor (RFEA) измеряет равномерность энергии ионов, попадающих на поверхность, с помощью ряда плазменных измерительных датчиков. Этот анализатор энергии замедляющего поля (RFEA) также измеряет однородность потока ионов, отрицательных ионов и напряжения смещения в любой точке плазменной камеры. Полевой энергетический анализатор с мультисенсором Semion (RFEA) позволяет пользователям в режиме реального времени изменять входные параметры плазмы, такие как мощность, давление, частоты и химические характеристики, чтобы найти оптимальное распределение энергии ионов и однородность потока ионов для своего применения. Анализатор энергии поля с мультисенсором Semion (RFEA) измеряет однородность энергии ионов, однородность потока ионов, однородность отрицательных ионов и Vdc на позиции подложки внутри плазменной камеры. Мультисенсор Semion в основном используется для исследования однородности пластин в промышленных плазменных системах, но он также находит применение и в исследованиях. Пользователи в полупроводниковом сообществе озабочены равномерностью ионного взаимодействия с субстратом, что справедливо для покрытий, травления, плазменного напыления, ПЭВПД и применения ионного пучка. С увеличением размеров субстрата равномерность плазмы становится все более критичной. Анализатор энергии Semion Multi Sensor с замедлением поля (RFEA) помогает сэкономить время для подтверждения однородности моделей плазмы, разработки новых унифицированных плазменных процессов и экспериментов, использующих плазму, разработки более крупных плазменных инструментов и плазменных исследований.

---

ВИДЕО

Каталоги

Impedans Instrument Catalog
Impedans Instrument Catalog
34 Страницы
* Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.