Анализатор энергии замедленного поля Semion Multi Sensor (RFEA) измеряет равномерность энергии ионов, попадающих на поверхность, с помощью ряда плазменных измерительных датчиков.
Этот анализатор энергии замедляющего поля (RFEA) также измеряет однородность потока ионов, отрицательных ионов и напряжения смещения в любой точке плазменной камеры.
Полевой энергетический анализатор с мультисенсором Semion (RFEA) позволяет пользователям в режиме реального времени изменять входные параметры плазмы, такие как мощность, давление, частоты и химические характеристики, чтобы найти оптимальное распределение энергии ионов и однородность потока ионов для своего применения.
Анализатор энергии поля с мультисенсором Semion (RFEA) измеряет однородность энергии ионов, однородность потока ионов, однородность отрицательных ионов и Vdc на позиции подложки внутри плазменной камеры. Мультисенсор Semion в основном используется для исследования однородности пластин в промышленных плазменных системах, но он также находит применение и в исследованиях. Пользователи в полупроводниковом сообществе озабочены равномерностью ионного взаимодействия с субстратом, что справедливо для покрытий, травления, плазменного напыления, ПЭВПД и применения ионного пучка. С увеличением размеров субстрата равномерность плазмы становится все более критичной. Анализатор энергии Semion Multi Sensor с замедлением поля (RFEA) помогает сэкономить время для подтверждения однородности моделей плазмы, разработки новых унифицированных плазменных процессов и экспериментов, использующих плазму, разработки более крупных плазменных инструментов и плазменных исследований.
---