Детектор светорассеяния с несколькими датчиками Vertex

плазмыдля распределения энергии ионизации

Датчик Vertex Multi Sensor измеряет распределение энергии ионов в зависимости от соотношения сторон, попадающих на поверхность внутри плазменного реактора из нескольких мест для анализа однородности ионного взаимодействия в подложке. Однородность энергии ионов, потока ионов и напряжения смещения также измеряется из нескольких мест. Угол попадания ионов в нижнюю часть объекта можно определить по распределению энергии ионов как функцию соотношения сторон, которое может быть измерено через субстрат для контроля равномерности и, следовательно, качества профиля травления с одной стороны субстрата на другую. Vertex Multi Sensor измеряет равномерность распределения энергии ионов в зависимости от соотношения сторон. Обеспечивается однородность энергии ионов, однородность потока ионов, отрицательная однородность ионов и напряжение смещения на поверхности внутри плазмы. Датчик Vertex Multi Sensor находит все более широкое применение во многих областях промышленности и научных исследований, где интересен функциональный профиль, например, плазменное травление больших субстратов, ионные пучки и плазменное напыление. Датчик Vertex Multi Sensor помогает пользователям подтверждать модели, разрабатывать новые процессы и эксперименты с использованием плазмы, требующие единообразного процесса, разработки плазменных инструментов, определения характеристик плазмы и проведения исследований. Датчик Vertex Multi Sensor расположен в 19-дюймовом блоке электроники, монтируемом в стойку, проходящем в вакууме, и держателе датчика, расположенном в любом месте плазменной или лучевой камеры. Местонахождение может быть даже электродом, работающим от радиочастотного или постоянного тока, и может быть оснащено сменным кнопочным зондовым датчиком. Блок электроники подключается к ноутбуку или ПК и использует интеллектуальный программный комплекс Vertex.