Лучевая система контроля DI4600

для полупроводниковой пластинылинейная

На производственных линиях полупроводниковых заводов необходимо быстро обнаруживать отклонения от нормы, чтобы избежать снижения выхода продукции. Для удовлетворения этой потребности DI4600 разработан для обнаружения дефектов на узорчатых пластинах с высокой чувствительностью и пропускной способностью. Высокая чувствительность и пропускная способность достигаются за счет сочетания оптики с листовым лучом и точного разделения света с помощью пространственных фильтров. Системы DI4600 установлены и работают в качестве поточных инструментов контроля дефектов на передовых заводах по производству памяти и логики. Повышенная производительность и чувствительность обнаружения для крупносерийного производства - Являясь системами контроля дефектов полупроводниковых пластин в темном поле, DI4600 вносит свой вклад в управление производственными линиями полупроводниковых приборов. Более высокая производительность согласования между инструментами - В DI4600 используется оригинальная оптика, разработанная для работы с парком инструментов. Простое управление - Параметры для рецептов контроля просты. Размер пластины - φ300 мм