Прибор для контроля дефектов CT1000

с рентгеновским излучениемDR-SEM3D

возможность 3D-наблюдения способствует "сокращению цикла разработки" и "повышению качества продукции" устройства G&C* После автоматической транспортировки пластины размером до 200 мм CT1000 точно перемещается к критической позиции образца или к позиции дефекта, обнаруженного блоком контроля дефектов. Затем можно проводить трехмерное РЭМ-исследование с помощью наклонного столика для образцов. CT1000 также оснащен энергодисперсионным рентгеновским спектрометром (EDS)*2, который можно использовать для определения элементов, содержащихся в образце для наблюдения. - Пятиосевой штатив для образцов, позволяющий наблюдать в 3D форму дефектов и деталей - Встроенный EDS*, позволяющий идентифицировать элемент дефекта (EDS: система энергодисперсионного рентгеновского анализа) - Поддержка пластин φ100 мм, φ150 мм, φ200 мм Разрешение - 7 нм@1 кВ Максимальный угол наклона образца - 55° Размер поля наблюдения - 0,675～135 мкм Элементный анализ (опция) - энергодисперсионный рентгеновский спектрометр