Эта машина предназначена для легирования фосфора и бора для формирования "p-n-перехода", важнейшего компонента кристаллических кремниевых солнечных батарей.
Спецификация
POCl₃
Высокая производительность: 7,854 пластин в час (2,400 пластин/лодка)
Время цикла: 110 мин
Время безотказной работы: 99%
BBr₃
Высокая производительность: 3 600 пластин/час (2 400 пластин/лодка)
Время цикла: 240 мин
Время безотказной работы: 99%
---