Измерительная система коэффициента отражения C11295

светтолщинаоптическая

Многоточечная NanoGauge система измерения толщины пленки C11295 представляет собой систему измерения толщины пленки с использованием спектральной интерферометрии. Она предназначена для измерения толщины пленки в процессе производства полупроводников, а также для контроля качества APC и пленок, установленных на оборудовании для производства полупроводников. Позволяет проводить многоканальные измерения в реальном времени, что обеспечивает одновременное многоканальное измерение и многоточечные измерения на пленочных поверхностях. Одновременно может измерять отражательную способность (пропускаемость), цвет объекта и их изменение с течением времени. Особенности - Одновременное измерение толщины пленки до 15 точек - Бесконтактная работа - Стабильное долговременное измерение путем коррекции колебаний интенсивности света - Функция сигнализации и предупреждения (прошел/не прошел) - Измерения отражения (пропускания) и спектра - Высокая скорость и высокая точность - Измерение в реальном времени - Точное измерение колеблющейся пленки - Анализировать оптические константы (n, k) - Внешний контроль доступен Спецификации Номер типа: C11295-XX*1 Диапазон измеряемой толщины пленки (стекло): от 20 нм до 100 мкм*2 Воспроизводимость измерения (стекло) : 0,02 нм*3 *4 Точность измерения (стекло) : ±0,4 %*4 *5 Источник света: Ксеноновый источник света *6 Длина волны измерения: от 320 нм до 1000 нм Размер пятна : Приблизительно φ1 мм*4 Рабочее расстояние: 10 мм*4 Количество измеряемых слоев : макс. 10 слоев Анализ : БПФ-анализ, анализ подгонки Время измерения: 19 мс/точка*7 Форма разъема волоконного кабеля : SMA Количество точек измерения: от 2 до 15 Внешняя функция управления : Ethernet Интерфейс: USB 2.0 (Главный блок - компьютер) RS-232C (Источник света - компьютер) Источник питания : AC100 В до AC240 В, 50 Гц/60 Гц