Оптическая измерительная система C12562-04

толщинас универсальным калибромавтоматическая

Оптическая система измерения толщины NanoGauge C12562 - это компактная, не занимающая много места бесконтактная система измерения толщины пленки, предназначенная для легкой установки в оборудование, где это необходимо. В полупроводниковой промышленности измерение толщины кремния необходимо в связи с распространением технологии сквозных кремниевых проходов, а в производстве пленок пленки с адгезионным слоем становятся все тоньше, чтобы соответствовать спецификациям продукции. Поэтому в этих отраслях теперь требуется еще более высокая точность измерений толщины в диапазоне от 1 мкм до 300 мкм. Прибор C12562 позволяет проводить точные измерения в широком диапазоне толщин от 500 нм до 300 мкм, включая толщину тонкого пленочного покрытия и подложки, а также общую толщину. C12562 также обеспечивает быстрые измерения с частотой до 100 Гц, что делает его идеальным для измерений на высокоскоростных производственных линиях. Характеристики Измеряет от толщины тонкой пленки до общей толщины Сокращает время цикла (макс. 100 Гц) Улучшенные внешние триггеры (для высокоскоростных измерений) Упрощенное измерение добавлено в программное обеспечение Возможность анализа обеих поверхностей Точное измерение флуктуирующей пленки Анализ оптических констант (n, k) Доступно внешнее управление Принцип измерения: спектральная интерферометрия При попадании света на образец тонкой пленки внутри нее происходят многократные отражения. Эти многократно отраженные световые волны усиливают или ослабляют друг друга в зависимости от разности фаз. Разность фаз каждого многократно отраженного света определяется длиной волны света и длиной оптического пути. Поэтому отраженный или пропущенный спектр от образца имеет специфический спектр, определяемый толщиной пленки.