Оптическая измерительная система C12562-04

толщинас универсальным калибромдля пленки

Оптическая система измерения толщины наномассивов C12562 представляет собой компактную, компактную, бесконтактную систему измерения толщины пленки, предназначенную для легкой установки в оборудование, где это необходимо. В полупроводниковой промышленности измерение толщины кремния имеет важное значение в связи с распространением сквозного кремния по технологии; в пленочной промышленности адгезионные пленки становятся все более тонкими в соответствии со спецификациями продукта. Поэтому в настоящее время в этих отраслях промышленности требуется еще более высокая точность измерения толщины в диапазоне от 1 мкм до 300 мкм. C12562 позволяет производить точные измерения в широком диапазоне толщин от 500 нм до 300 мкм, включая тонкопленочное покрытие и толщину пленочной подложки, а также общую толщину. C12562 также обеспечивает быстрые измерения до 100 Гц, что делает его идеальным для измерений на высокоскоростных производственных линиях. Особенности - Делает измерения в диапазоне от толщины тонкой пленки до общей толщины - Сокращение времени цикла (макс. 100 Гц) - Усовершенствованные внешние триггеры (вмещает высокоскоростные измерения) - В программное обеспечение добавлено упрощенное измерение - Способен выполнять анализ обеих поверхностей - Точное измерение колеблющейся пленки - Анализировать оптические константы (n, k) - Внешний контроль доступен Спецификации Номер типа: C12562-04 Диапазон измеряемой толщины пленки (стекло): от 500 нм до 300 мкм*1 Воспроизводимость измерений (стекло) : 0,02 нм*2 *3 Точность измерения (стекло) : ±0,4 %*3 *4 Источник света : Источник света галоида Размер пятна: Приблизительно φ1 мм*3 Рабочее расстояние: 10 мм*3 Количество измеряемых слоев : макс. 10 слоев Анализ : БПФ-анализ, анализ посадки, оптический постоянный анализ Время измерения: 3 мс/точка*5 Форма разъема волокна : FC