Оборудование для наблюдения за газом для контроля полупроводников D-ReX PoS²

для промышленного применениядля контроля процессадля обнаружения

Overview
D-ReX PoS² — компактная система обнаружения газов, разработанная для сред производства полупроводников. Встроенный насос всасывает пробный газ в точке отбора проб (PoS) с расстояния до ~30 м. Установка возможна на стену или DIN‑рейку. Подключение: Power over Ethernet (PoE), 4–20 mA, Modbus (RS-485).

USPs

• Обслуживание без инструментов: передняя панель открывается без инструментов для быстрого доступа к картриджу датчика и механизму насоса.
• Удалённая пробоотбор: встроенный насос с возможностью прокладки пробопровода для ограниченных пространств и распределённых точек отбора.
• Гибкая интеграция: PoE, 4–20 mA и Modbus (RS-485) для простой интеграции в вышестоящие системы управления.

Features

• Опциональный контроль целостности линии
• Большой цветной экран 2,4" TFT для отображения типа газа, концентрации и состояния устройства
• Три внутренних программируемых реле с однополюсными переключающими контактами
• Коммуникации: Ethernet (PoE), 4–20 mA, Modbus (RS-485)

Designed for semiconductor fabs
Устройство поддерживает отбор проб из трубопроводов, систем распределения газа, зон хранения, скрубберов и чистых помещений. Для газов, требующих пиролиза, доступен опциональный модуль Py‑ReX. Картриджи датчиков поставляются предварительно настроенными и заменяемыми; при замене изнашиваемых деталей кассета датчика и электроника насоса повторно используются.

Information & operation
2.4" экран отображает идентификатор газа, измеренную концентрацию, состояние устройства и ошибки в понятном виде. Три внутренних реле можно программировать для срабатывания внешних сигналов тревоги или мер безопасности. Сетевая работа поддерживается через PoE‑совместимый LAN (10/100 Mbit/s) и Modbus (RS-485); аналоговый выход — 4–20 mA.

Detectable semiconductor process gases (typical)
Аммиак (NH3), Хлористый водород (HCl), Фтороводород (HF), Водород (H2), Силан (SiH4), Дихлорсилан (DCS), Арсин (AsH3), Фосфин (PH3), Диборани (B2H6), Селеноводород (H2Se), Герман (GeH4), Трифторид хлора (ClF3), Фтор (F2), Озон (O3), Бромоводород (HBr), Синильная кислота (HCN), Гексаметилдисилазан (HMDS), Тетраэтилортосиликат (TEOS).

Technical specifications

• Model: D-ReX PoS²
• Sampling: встроенный насос с возможностью пробопровода (до ~30 m)
• Installation: настенный или DIN‑рейковый монтаж
• Service: передний доступ без инструментов; безинструментальная замена картриджа датчика и механизма насоса
• Sensors supported: электрохимические, каталитические, инфракрасные, PID (преднастроенные картриджи датчиков)
• Display: 2,4" цветной (TFT)
• Relays: три внутренних программируемых реле (однополюсные переключающие контакты)
• Analog output: 4–20 mA
• Digital communication: Modbus (RS-485)
• Network / Power: Power over Ethernet (PoE), Ethernet 10/100 Mbit/s
• Optional: модуль Py‑ReX пиролизатора; опциональный контроль целостности линии