Система подготовки газа Py-ReX

Обзор
Пиролизатор Py-ReX на основе филамента — это модуль-надстройка для газоанализатора D-ReX PoS, обеспечивающий извлечённый (экстрактивный) отбор проб для обнаружения газов, которые слишком токсичны или электрохимически неактивны для прямого измерения. Модуль использует встроенный насос D-ReX PoS для прокачки пробы газа через нагретый филамент в кварцевой трубке, преобразуя целевой газ в измеряемый компонент для электрохимического смарт-датчика.

Обнаружение газа с помощью пиролизера
Py-ReX монтируется между точкой отбора пробы и газоанализатором. Насос D-ReX PoS затягивает пробу через пиролизер; после пиролиза преобразованный (измеряемый) газ подаётся на датчик D-ReX для анализа. Такая конфигурация расширяет диапазон обнаруживаемых газов для мониторинга процессов и задач безопасности.

Как работает пиролиз?
Филамент внутри кварцевой стеклянной трубки нагревается до температуры, специфичной для данного газа. При контакте с нагретым филаментом целевой газ разлагается (пиролизуется) до измеряемого компонента. Концентрация измеряемого компонента используется для расчёта концентрации исходного целевого газа по калибровочным параметрам.

Какие газы можно обнаруживать?
Py-ReX оптимизирован в первую очередь для фторсодержащих инертирующих газов, применяемых в производстве полупроводников и смежных отраслях. Он также способен детектировать некоторые невосстановленные (инертные) нефторированные газы (пример: 1,2-дихлорэтилен). Типичные измеряемые продукты преобразования включают C2H2Cl2, C4F6, C5F8, CH3F, NF3 и SF6.

Кратко: оборудование и особенности

• Метод пиролиза: филаментный пиролиз (филамент в кварцевой трубке)
• Режим работы: экстрактивный отбор проб с использованием встроенного насоса D-ReX PoS
• Связь: выход 4-20 mA
• Индикаторы состояния: двухцветные светодиоды
• Крепление: корпус для DIN-рейки (TS35)
• Максимальная длина магистрали пробоотбора: до 30 м
• Мониторинг тока нагрева доступен на D-ReX PoS
• Опция: мониторинг целостности линии через D-ReX PoS

Измеряемые газы (пример)
C2H2Cl2 — 1,2-дихлорэтилен (DCE); C4F6 — гексафторбутадиен; C5F8 — октафторциклопентен; CH3F — фторметан; NF3 — трифторид азота; SF6 — гексафторид серы

Технические характеристики / Характеристики

• Разработан как дополнительный модуль для D-ReX PoS с использованием встроенного насоса для экстрактивного отбора проб
• Филаментный пиролизатор: нагреваемый филамент внутри кварцевой трубки с управлением температуры, специфичной для газа
• Устанавливается между точкой отбора пробы и газоанализатором
• Преобразует целевой газ в измеряемый; по измеренной концентрации вычисляется концентрация целевого газа
• Выход связи: 4-20 mA
• Визуальные индикаторы: двухцветные светодиоды
• Корпус: DIN-рейка (TS35)
• Максимальная длина линии отбора проб: до 30 м
• Мониторинг тока нагрева реализован на D-ReX PoS
• Опциональная проверка целостности линии доступна на D-ReX PoS
• Область применения: преимущественно фторсодержащие инертирующие газы в производстве полупроводников; также некоторые нефторированные инертные газы