Система литографии UV-NIL EVG®7300

Новое многофункциональное решение для микро- и нанопечати от EV Group предлагает беспрецедентную гибкость для крупносерийного производства оптических приборов EVG®7300 - самое передовое решение EVG, объединяющее несколько УФ-процессов, таких как наноимпринтная литография (NIL), формовка линз и укладка линз (УФ-связывание), в одной платформе Система наноимпринтинга и оптики на уровне пластин EVG®7300 SmartNIL® - это универсальное, передовое решение, объединяющее несколько УФ-процессов в одной платформе. Компания EV Group (EVG), ведущий поставщик оборудования для склеивания пластин и литографии для рынков МЭМС, нанотехнологий и полупроводников, сегодня представила автоматизированную систему наноимпринтов и оптики на уровне пластин EVG®7300 SmartNIL®. EVG7300 - это самое передовое решение компании, объединяющее в единой платформе несколько технологических возможностей на основе УФ-излучения, таких как литография наноотпечатков (NIL), формовка линз и укладка линз (УФ-связывание). Эта многофункциональная система, готовая к использованию в промышленности, предназначена для удовлетворения передовых научно-исследовательских и производственных потребностей в широком спектре новых приложений, включающих микро- и наношаблоны, а также укладку функциональных слоев. К ним относятся оптика на уровне пластин (WLO), оптические датчики и проекторы, автомобильное освещение, волноводы для гарнитур дополненной реальности, био-медицинские устройства, мета-линзы и мета-поверхности, а также оптоэлектроника. Поддерживая размеры пластин до 300 мм и обладая высокоточным выравниванием, усовершенствованным управлением процессом и высокой производительностью, EVG7300 удовлетворяет потребности крупносерийного производства различных нано- и микрооптических компонентов и устройств свободной формы и высокой точности.