Очистители газа GateKeeper® 200M навальные
Высок-пропускает очищение газа
Последовательно поставляет газ ultrapure
Конструировано для пользы с CDA или инертными газами
Предохранители против спайков примеси от жидкостных баков для хранения и сбивчивого качества газа поставкы
Не выпускает углероды которые могут загрязнить процесс
Технология очищения температуры окружающей среды польз - отсутствие требуемые сила или жара
Высок-пропускает очищение газа
Материалы конструкции:
316L нержавеющая сталь, electropolished Ra 10
Средства:
Модель SS200MI: Никель металлический
Модель SS200MZ: Неорганическо
Очищенные газы:
Модель SS200MI: N2, он, Ne, Kr, Ar, halocarbons, светлые углероды
Модель SS200MZ: CDA
Очищенность выхода:
Модель SS200MI: Ppb H2 N2 <1, CO, СО2; ppt <100 (част-в-триллион) H2O, O2ий
Модель SS200MZ: <1 ppb H2S, H2O, СО2, амины, кисловочные газы, и спирты; <100 ppt NOx; NH3 ppt <10; <1 ppt NMHC, силоксаны, SO2
Фильтрация частицы выхода:
μm 20
Максимальный перепад давления:
kPa 1379 (200 PSID)
Давление минимума работая:
kPa 101 (14.7 PSIA)
Максимальный расход потока:
20000 SLPM
Номинальный расход потока:
3500 SLPM
Номинальность утечки:
4 × 10-9 atm cc/sec.
Максимальная возможность входа загрязняющего елемента для поддержания эффективности продукта:
10 ppm (част-в миллион)
Продолжительность жизни:
Один год на номинальном расходе потока с возможностью входа 1 ppm влаги
Максимальная рабочая температура:
65°C (149°F)
---