« Очистители коррозионного газа GateKeeper®
Рентабельное очищение газа
Последовательно поставляет ultrapure газ
Конструированный для пользы с HCl, Cl2, HBr, BCl3, SiCl4 и SiF4. Очистители извлекают влагу к ppb 1 (част-в-миллиард) в N2.
Предохранители против оптового прорыва очистителя газа, шипы примеси от жидкостных баков для хранения, changeouts цилиндра и непредвиденные загрязняющие елементы в процессе
Не выпускает углероды которые могут загрязнить процесс
Технология очищения температуры окружающей среды польз – отсутствие требуемые сила или жара
Падение низкого давления через purifiers \ /html»
---