Очистители газа гидрида GateKeeper®
Рентабельное, в отношении к окружающей среде содружественное очищение газа
Конструировано для пользы с NH3, AsH3, PH3, SiH 4, и GeH4. Очистители извлекают O2его, СО2, H2O и уровни субпродуктов оксидации sub-ppb (част-в-миллиард).
Предохранители против навального прорыва очистителя газа, спайки примеси от жидкостных баков для хранения, changeouts цилиндра и непредвиденные загрязняющие елементы в процессе
Не выпускает углероды которые могут загрязнить процесс
Технология очищения температуры окружающей среды польз - отсутствие требуемые сила или жара
Падение низкого давления через очистители
---