Массовый спектрометр IMS 7f-Auto

масс-спектрометрия с вторичной ионизациейдля полупроводниковой промышленностифотоэлектронный умножитель

Ключевые аналитические возможности для решения широкого спектра аналитических задач IMS 7f-Auto предоставляет непревзойденные возможности профилирования по глубине с высоким разрешением по глубине и высоким динамическим диапазоном. Масс-спектрометр с высокой трансмиссией объединен с двумя источниками активных ионов высокой плотности, O2+ и Cs+, таким образом, обеспечивая высокую скорость распыления и превосходные пределы обнаружения. Уникальная конструкция оптики позволяет работать как в режиме прямой ионной микроскопии, так и сканирующей микрозондовой визуализации. Улучшенная автоматизация и эффективность работы IMS 7f-Auto оснащен усовершенствованной линейной первичной колонной, облегчающей и ускоряющей настройку первичного пучка, а также оптимизирующей стабильность тока первичного пучка. Новые автоматизированные процедуры сводят к минимуму человеческий фактор и повышают простоту использования. Моторизованная камера хранения с автоматизированной загрузкой/выгрузкой держателей образцов обеспечивает высокую скорость анализа, используя последовательный анализ и дистанционное управление. Высокая воспроизводимость при высокой скорости анализа Благодаря новой моторизованной камере хранения и передаче образцов IMS 7f-Auto может анализировать несколько образцов последовательно или в дистанционном режиме. Измерения могут быть полностью автоматизированы и без надзора оператора с непревзойденной производительностью и воспроизводимостью. Можно достичь исключительной воспроизводимости (относительное стандартное отклонение (ОСО) < 0,5 %) при превосходных пределах обнаружения, высокой скорости анализа и производительности (устройство можно использовать 24 часа в сутк