Четырехполюсный спектрометр AKONIS

подвижности ионовдля процессадля полупроводниковой промышленности

Полностью автоматизированная система SIMS для крупносерийного производства полупроводников Инструмент AKONIS SIMS заполняет критический пробел в процессах производства полупроводников, обеспечивая высокую производительность, высокую точность определения профилей имплантатов, анализ состава и межфазных данных для обеспечения крупносерийного производства. AKONIS обеспечивает очень высокий уровень автоматизации, гарантирующий повторяемость данных на всех инструментах для управления процессом на уровне фабрики и согласования между инструментами. Дополняя IMS Wf/SC Ultra, а также SIMS 4550 (квадрупольный SIMS), используемый для поддержки полупроводниковой промышленности через лаборатории определения характеристик, AKONIS - с полной автоматизацией настройки прибора и процедур сбора данных - обеспечивает быстрый анализ в пределах лаборатории без ущерба для аналитической чувствительности. В AKONIS используются последние разработки в области технологии ионных колонок с чрезвычайно низкой энергией удара (EXLIE) (< 150 эВ), а также система обработки пластин, включающая этап высокого разрешения, позволяющий проводить измерения на площадках размером до 20 мкм. Обеспечение высокой производительности на N5 и далее Высокое разрешение состава и быстрое профилирование глубины легирования многослойных стеков SiGe и SiP Непревзойденные пределы обнаружения площадок до 20 мкм Сокращение времени обратной связи с технологической линией более чем на 97% Измерения на целых пластинах и пластинах с рисунком Система распознавания образов в сочетании с интерферометрическим каскадом высокого разрешения для обеспечения точности позиционирования < 2 мкм Интуитивно понятное создание рецептов на основе уникальной базы данных материалов Сертифицирован по стандарту SEMI (S2/S8, E4, E5, E39, E84...) Низкая стоимость владения