Машина для нанесения покрытий PECVD DLC

для облицовки углерода (алмазов)вакуумнаядля оптоэлектроники

LEYBOLD OPTICS DLC - это высоковакуумная система химического осаждения напылением на пары (PECVD) для нанесения антибликовых (AR) покрытий, применяемая в основном в инфракрасных (IR) приложениях для тепловизионных систем. Лидеры отрасли используют оборудование LEYBOLD OPTICS DLC для защиты оптического оборудования от повреждений с помощью чрезвычайно твердых и устойчивых к воздействию окружающей среды оптических покрытий, которые наносятся на подложки внутри этой машины. Конструкция системы позволяет получить чрезвычайно твердые поверхности слоя Система LEYBOLD OPTICS DLC предназначена для производства алмазоподобных покрытий из твердого углерода (DLC) для ИК-покрытий на германиевых (Ge) и кремниевых (Si) подложках Чрезвычайно жесткие слои DLC защищают открытые оптические поверхности и увеличивают инфракрасный пропускание. Равномерность слоя позволяет использовать его для приложений в условиях низкой освещенности В зависимости от конструкции газового душа, технологические газы распределяются внутри технологической камеры чрезвычайно равномерно. Таким образом, рост слоистой пленки на подложке является чрезвычайно точным, что является ключевым фактором при использовании в условиях низкой освещенности, таких как устройства ночного видения, датчики для дистанционного управления или другие приложения, где используется свет в ИК-волнах. Оптическая система мониторинга in-situ обеспечивает высокую точность измерений Требуемые точности в отношении толщины слоя и повторяемости покрытия делают необходимым постоянно контролировать рост оптических DLC-пленок в процессе нанесения покрытия.