Машина для нанесения покрытий PVD SYRUSpro series

с помощью пучка ионовтонких слоевдля оптоэлектроники

Серия SYRUSpro компании Bühler Leybold Optics является ведущей в отрасли платформой для серийного производства с высокой точностью и высоким уровнем выхода оптических покрытий для точной оптики. Покрыватели SYRUSpro идеально подходят для применения в диапазоне от глубокого ультрафиолетового (DUV), видимого спектра (VIS) до инфракрасного (IR) спектра. Разнообразие покрытий охватывает краевые фильтры (кратковременные и длинные), фильтры УФ-ИР-обработки, надсечные и узкополосные фильтры, дихроические цветные фильтры и поляризационные делители луча, покрытия AR и HR для лазеров и многое другое. Каждый SYRUSpro оснащен большим количеством фирменных и стандартизированных компонентов Bühler Leybold Optics в соответствии с требованиями заказчика. Это позволяет легко обновлять систему в соответствии с возрастающими требованиями процесса. Кроме того, современная система управления технологическими процессами Bühler Leybold Optics сочетает в себе высокую гибкость программирования и максимальную степень автоматизации. Все эти качества в совокупности обеспечивают очень точные, высокие показатели производительности и производительности для непрерывного круглосуточного серийного производства оптических фильтров. Различные размеры камеры для максимальной гибкости Покрыватели SYRUSpro выпускаются в восьми различных размерах камер с внутренним диаметром от 710 мм до 2810 мм. Это означает, что мы можем предложить соответствующую камеру, которая идеально соответствует нагрузочной способности и размерам субстрата, определенным нашими клиентами. Например, наши камеры 1950-мм или 2810-мм являются идеальными платформами для экстремальных размеров субстрата.