Машина для нанесения покрытий PVD NESSY series

с помощью магнетронного катодного распылениятонких слоеввакуумная

Серия NESSY - это магнитронная напылительная система последнего поколения фирмы Bühler Leybold Optics. Предназначен для производства покрытий для ультрафиолетовых (EUV) зеркал в условиях сверхвысокого вакуума (UHV) и предназначен для массового производства, а также для разработки новых продуктов. Покрыватели NESSY могут быть оснащены шестью различными прямоугольными напылительными катодами и могут использовать молибден и кремний, а также другие материалы, необходимые для получения полного зеркального покрытия. В результате полный пакет покрытий может быть выполнен за один цикл. Прорывные области применения с устройством нанесения покрытия, подходящим для будущего Молибден-кремниевые многослойные зеркала с максимальным отражением на длине волны 13,5 нм стали классикой в технологии отражения. Эти зеркала незаменимы в качестве зеркал конденсаторов или проекторов в литографическом оборудовании нового поколения В дополнение к литографии EUV, многослойные интерференционные зеркала могут использоваться в рентгеновских измерительных приборах, оптике синхротронного излучения и других сложных научных приложениях. Широкий выбор сложных субстратов делает NESSY идеальным выбором для разработки новых приложений и компонентов.