В датчике газа MEMS NO2 используется горячая пластина микропроизводства MEMS на кремниевой подложке, чувствительные к газу материалы, используемые в чистом воздухе, представляют собой металлооксидный полупроводниковый материал с низкой проводимостью. Когда датчик подвергается воздействию газовой атмосферы, проводимость изменяется в зависимости от обнаруженной концентрации газа в воздухе. Чем выше концентрация газа, тем выше проводимость. Использование простой схемы позволяет преобразовать изменение проводимости концентрации газа, соответствующее выходному сигналу.
сектор
В основном используется в стационарных или портативных детекторах NO2 или сигнализациях.
Особенности
Технология MEMS, Прочная конструкция
Высокая чувствительность к газу NO2
Малые размеры и низкое энергопотребление
Быстрый ответ и резюме
Простая схема привода, длительный срок службы