Датчик запаха газа из дыхания MEMS использует горячую пластину микропроизводства MEMS на основе Si-подложки, газочувствительные материалы, используемые в чистом воздухе, с металлооксидным полупроводниковым материалом с низкой проводимостью. Когда датчик подвергается воздействию газовой атмосферы, проводимость изменяется в зависимости от обнаруженной концентрации газа в воздухе. Чем выше концентрация газа, тем выше проводимость. С помощью простой схемы можно преобразовать изменение проводимости концентрации газа, соответствующее выходному сигналу.
сектор
Мини-детектор дыхания
Особенности
Технология MEMS, прочная конструкция
Высокая чувствительность к H2S, спирту и ацетону.
Малый размер, высокая чувствительность, низкое энергопотребление
Быстрый отклик и возобновление работы, простая схема привода, длительный срок службы.