POWERGLIDE® является уникальным воплощением технологии адаптивных тепловых систем (ATS™) компании Watlow и объединяет контроль температуры и мощности в одном устройстве с поддержкой ATS, идеально подходящем для применения в полупроводниковых процессорах.
POWERGLIDE предлагает несколько протоколов связи, включая EtherCAT®, который оптимизирован для полупроводниковой промышленности.
Характеристики и преимущества
Встроенный алгоритм автоматической калибровки
Устранение простоев, связанных с калибровкой
Контроль температуры на основе материалов нагревателя с высоким TCR
Позволяет осуществлять контроль в замкнутом контуре для всех зон
Включает алгоритмы управления керамикой
Поддерживает ограничения материалов для защиты пьедестала
Обеспечивает программируемое ПИД-регулирование на основе состояния
Протокол связи EtherCAT®
Обеспечивает соблюдение протоколов промышленного стандарта
---