Плазменный генератор PECVD TruPlasma DC 4000 (G2)

PVD

Устройство TruPlasma DC серии 4000 (G2) было специально разработано для реактивного ионно-плазменного распыления тяжелых материалов с использованием постоянного тока. Преимущества генераторов, работающих от пульсирующего постоянного тока, более всего проявляются при выполнении особенно сложных процессов вакуумного напыления и плазмохимического газофазного осаждения, требующих высочайшего качества слоев при высокой производительности. Компактные технологические системы электропитания постоянного тока могут применяться как в пульсирующем режиме, так и в режиме смещающего напряжения — можно сказать, два устройства в одном корпусе! Высокое качество слоев и производительность Цифровая обработка сигналов гарантирует стабильность технологических процессов и минимальные потери, обусловленные воздействием дуги. Лучшие результаты даже для самых сложных процессов Быстрая дуговая обработка в сочетании с технологией пульсирующего постоянного тока сокращает повреждения подложки до минимума. Простая адаптация параметров процесса Это достигается благодаря широкому диапазону частот и регулируемому напряжению обратной полярности. Компактная и прочная конструкция Встроенное водяное охлаждение экономит место и сокращает затраты на техническое обслуживание.